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MEMS

发表时间:2019-12-22 08:52

MEMS传感器_副本.png


微电子机械系统(MEMS)概念与20世纪80年代末提出,一般泛指特征尺度在亚微米至亚毫米范围的装置。


MEMS是一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研发领域,相对于传统的机械系统,他们的尺度更小,最大的不超过1cm,甚至只有几微米,其厚度就更加微小。采用以硅为主的材料电气性能优良,硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当,密度与铝类似,热传导率接近钼和钨。采用集成电路(IC)类似的生成技术可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺进行大批量、低成本生产,使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。


完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理器和控制电路、通信接口和电源等部组成的一体化的微型器件系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功能的微型系统,集成于大尺寸系统中,从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。


沿着系统及产品小型化、智能化、集成化的发展方向可以预见:MEMS会给人类社会带来另一次技术革命,它将对21世纪的科学技术、生产方式和人类生产质量产生深远影响,是关系到国家科技发展、国防安全和经济繁荣的一项关键技术。


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